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tc wafer
tc wafer是直接镶嵌于晶圆表面的温度传感器，可以实现晶圆表面温度的实时测量。借助于放置在晶圆表面特定位置之间的温度传感器，可获得这些特定位置的真实温度测量值以及整片晶圆温度分布；同时也可利用此传感器来持续监控在热处理工程中晶圆暂态温度变化，例如：升温，降温过程及延迟周期等。
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ic wafer
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hq-rts-p系列 红外光学温度计
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